LEGEXSILIIZ是分析和排除誤差因素的超高精度CNC三維測(cè)量機(jī)
主體壓板部為實(shí)現(xiàn)高剛性、高衰減性，嚴(yán)格選用材料，采用密閉結(jié)構(gòu)。此外，使用FEM結(jié)構(gòu)分析模擬進(jìn)行應(yīng)力分析，保證因載荷變動(dòng)等引起的變形達(dá)到最小限度的幾何運(yùn)動(dòng)精度。此外，為了實(shí)現(xiàn)超高精度，還投入了多種技術(shù)，如驅(qū)動(dòng)部的結(jié)構(gòu)、振動(dòng)對(duì)策等。
、位置檢測(cè)用測(cè)長(zhǎng)單元包括熱膨脹系數(shù)÷0的超高精度結(jié)晶化玻璃輪廓器和高分辨率的高性能反射型線(xiàn)性編碼器的組通過(guò)配合，搭載了超高精度測(cè)長(zhǎng)單元(本公司制造)，可實(shí)現(xiàn)具有位置檢測(cè)能力的超高精度機(jī)床控制
超高精度機(jī)的安裝環(huán)境需要恒溫室等級(jí)，但通過(guò)溫度修正功能，能夠在廣泛的溫度環(huán)境下保證精度。
為了支持簡(jiǎn)單、高精度的測(cè)量，我們準(zhǔn)備了探針(接觸型、非接觸型)、數(shù)據(jù)處理裝置等多種選項(xiàng)